Blistering of silicon crystals by low keV hydrogen and helium ions
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
The blistering of Si wafers with (100), (110), and (111) orientations, induced by implantation of low energy (5–8 keV) H and/or He ions, was studied. Our earlier work had used either pure H implants at high dose (5×1016 cm−2) or low dose coimplantation (1×1016 H cm−2+1×1016 He cm−2). Here we study pure He implantation, and coimplantation with variable He/H dose ratio, in order to understand the roles of H and He, in the hope of improving the blistering efficiency (as used, e.g., in the Smart-cut® process). After room temperature implantation, the samples were vacuum annealed in three steps at 500, 550, and 600 °C. At each step, the development of blistering and exfoliation was quantified by scanning electron microscopy (“exfoliation” is here used to mean blister explosion). We found that the thermal budget required for blistering is higher than for comparable doses of high energy (>30 keV) ions. On the Si(110) surface, H blistering is very weak, He blistering is the strongest, but exfoliation absent. On Si(111), H blistering is the strongest, He the weakest, but exfoliation a maximum. Si(100) shows intermediate behavior. Weak H blistering correlates with premature H2 desorption. H+He coimplantation efficiently increases the degree of blistering and, to some extent, exfoliation.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle