Investigation of thermal flux to the substrate during sputter deposition of aluminum
Notice bibliographique
Résumé
The transient and steady state thermal flux at the substrate during the deposition of aluminum film in a direct current magnetron sputter system has been determined by measuring the resistance of a complementary metal–oxide–semiconductor (CMOS) sensor. The sensor is calibrated using ohmic self-heating before the plasma is switched on. The steady state thermal flux at the substrate was measured to vary from 9.6 to 46 mW/cm2 at a substrate-target distance of 10.8 cm depending on the magnetron power (75–300 W) and gas pressure. Plasma radiation and electron bombardment are noted to be the most significant sources of the thermal flux to the substrate, each contributing about 36% and 29%, respectively, of the total thermal flux at the substrate for a magnetron power of 200 W and gas pressure of 5 mTorr. Thermal radiation is also an important factor, along with kinetic energy and condensation energy. Total energy per deposited atom is calculated to be in the range of 28–52 eV depending on the magnetron power and gas pressure, and increases with pressure but decreases with magnetron power. The trend seems to suggest that at higher magnetron powers (>300 W for a 3 in. target), a pressure independent total energy per deposited atom may be obtained.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».