Rapid fabrication of nano-structured quartz stamps
Notice bibliographique
Résumé
Replication of surface nano-structures from a master stamp allows large-area volume production that is otherwise cost prohibitive through conventional direct-write methods, such as electron beam lithography and focused ion beam milling. However, the creation of a master stamp containing sophisticated patterns still requires significant time on such direct-write tools. We demonstrate a method for reducing this tool time by patterning smaller nano-structures, and then enlarging them to the desired size through isotropic etching. We can create circular structures of any arrangement and size, down to the patterning limits of the direct-write tools. Subsequent metal mask deposition, lift-off, and anisotropic etching transforms the circular patterns to out-of-plane pillar structures for the final stamp. A 1 cm(2) area filled with a pattern of 200 nm diameter nano-holes spaced 520 nm apart, requires only 21 h to complete using our process, compared to 75 h using conventional fabrication. We demonstrate the utility and practicality of the quartz stamps through polymer embossing and replication. Embossed polymer nano-hole arrays are coated with a Cr/Au (5/100 nm) film to create surface plasmon resonance structures. Extraordinary optical transmission spectra from the metallized arrays show the expected spectral features when compared to focused ion beam milled structures.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».