Effect of Heavy Boron Doping on Oxygen Precipitation in Czochralski Silicon Substrates of Epitaxial Wafers
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Notice bibliographique
Résumé
The effect of heavy boron doping on oxygen precipitation in Czochralski silicon substrates of epitaxial wafers has been studied with transmission electron microscopy observations and a preferential etching method. Prolonged isothermal annealing between 700 and 1000°C for up to 700 h was performed on p/p+ (5–20 mΩ cm) and p/p− (10 Ω cm) wafers. It was found that, with an increase in boron concentration, the precipitate density increased, and the precipitates could nucleate at a higher temperature. The growth process of platelet precipitates was also investigated and compared with the process in polished p− wafers. It was confirmed that precipitate growth rate in p/p+ wafers was higher than that in p− wafers, and precipitate nucleation in p/p− wafers was delayed compared with p/p+ wafers. The precipitate growth in p/p+ wafers was determined to be reaction‐limited, which differed from the diffusion‐limited growth in p− wafers. © 2000 The Electrochemical Society. All rights reserved.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle