A 100-channel near-infrared SOI waveguide microspectrometer: design and fabrication challenges
Notice bibliographique
Résumé
We present recent advances in the development of a waveguide microspectrometer chip with high spectral resolution in the near-infrared part of the spectrum. The microspectrometer is designed for a high index contrast silicon-on-insulator (SOI) platform, where high number of spectral channels can be obtained with high spectral resolution in a compact device. We present a 100-channel SOI microspectrometer with designed spectral resolution of ~0.08 nm at 1.5 μm wavelength and about 8x8 mm<sup>2</sup> in size. A number of critical design issues are discussed, including design of deep-etched tapers near the Rowland circle required for high-resolution performance as well as coupling between closely spaced waveguides. Device fabrication process is discussed in detail, including two-step e-beam patterning and two-level ICP etches, the focus being on achieving deep and smooth vertical etches in silicon with controllable sub-micron waveguide widths and gaps. The potentially available spectral range of the microspectrometer is limited by the transparency of silicon, extending from the band edge of Si at 1.107 μm to the onset of lattice phonon absorption band near 5 μm. Such compact high-resolution multi-channel integrated microspectrometers are promising for a variety of applications, including spectroscopy, telecommunications, optical interconnects, environmental and bio-sensing.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».