Smooth wet etching by ultraviolet-assisted photoetching and its application to the fabrication of AlGaN/GaN heterostructure field-effect transistors
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
We characterize a KOH-based ultraviolet (UV) photoassisted wet etching technique using K2S2O8 as the oxidizing agent. The solution provides a well-controlled etch rate and produces smooth high-quality etched surfaces with a minimal degradation in surface roughness as measured by atomic force microscopy. The evolution of the solution pH upon exposure to UV radiation is identified as key to obtaining smooth etched surfaces and a controlled etch rate: Unless steps are taken to maintain the pH above 12.0, the etch rate displays a sharp drop that coincides with a gross roughening of the etched surface. The applicability of the present technique is demonstrated by the fabrication of high-quality mesa-isolated AlGaN/GaN hetrostructure field-effect transistors. In addition, the etch presented here features a high selectivity to C-doped layers which should prove useful in the fabrication of AlGaN/GaN hetrostructure bipolar transistors. The method is well adapted to device processing applications because it does not require connection to the sample to an external electrochemical cell.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle