High-throughput resistivity apparatus for thin-film combinatorial libraries
Notice bibliographique
Résumé
An apparatus, capable of measuring the dc resistance versus temperature of a 49-member library prepared by thin-film deposition techniques was designed and tested. The library is deposited by dc magnetron sputtering onto 10.16cm×10.16cm alumina substrates on which are placed aluminum masks consisting of 8mm diam holes cut on a 7×7 grid, the center-to-center spacing being 10.15mm. Electrical contact to the library is made in a standard van der Pauw geometry using 196 spring-loaded, gold-coated pins, four pins for each member of the library. The temperature is controlled using a helium refrigerator in combination with a liquid-nitrogen radiation shield that greatly reduces radiative heating of the sample stage. With the radiation shield, the cold finger is able to sustain a minimum temperature of 7K and the sample stage a minimum temperature of 27K. The temperature (27–291K) dependent dc resistivity of a thin-film silver library of varying thickness (48–639nm) is presented to highlight the capabilities of the apparatus. The thickness dependence of both the resistivity and the temperature coefficient of resistivity are quantitatively consistent with the literature. For thicknesses greater than about 100nm, the room-temperature resistivity (3.4μΩcm) are consistent with Matthiessen’s rule for 1%–2% impurity content, and the temperature coefficient of resistivity is consistent with the bulk value. For thicknesses less than 100nm, an increase in resistivity by a factor of 8 is found, which may be due to surface and boundary scattering effects; a corresponding increase in the temperature coefficient of resistivity is consistent with a concomitant decrease in the magnitude of the elastic constants and surface scattering effects.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,002 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,002 | 0,002 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,002 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,009 | 0,006 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».