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Enregistrement W1984274279 · doi:10.1063/1.2037947

High-throughput resistivity apparatus for thin-film combinatorial libraries

2005· article· en· W1984274279 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.
fundUn bailleur canadien est enregistré sur le travail.

Notice bibliographique

RevueReview of Scientific Instruments · 2005
Typearticle
Langueen
DomaineMaterials Science
ThématiqueCopper Interconnects and Reliability
Établissements canadiensDalhousie University
Organismes subventionnairesNatural Sciences and Engineering Research Council of Canada
Mots-clésElectrical resistivity and conductivityMaterials scienceVan der Pauw methodTemperature coefficientThin filmSputter depositionSputteringComposite materialElectrical engineeringNanotechnologyHall effect

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

An apparatus, capable of measuring the dc resistance versus temperature of a 49-member library prepared by thin-film deposition techniques was designed and tested. The library is deposited by dc magnetron sputtering onto 10.16cm×10.16cm alumina substrates on which are placed aluminum masks consisting of 8mm diam holes cut on a 7×7 grid, the center-to-center spacing being 10.15mm. Electrical contact to the library is made in a standard van der Pauw geometry using 196 spring-loaded, gold-coated pins, four pins for each member of the library. The temperature is controlled using a helium refrigerator in combination with a liquid-nitrogen radiation shield that greatly reduces radiative heating of the sample stage. With the radiation shield, the cold finger is able to sustain a minimum temperature of 7K and the sample stage a minimum temperature of 27K. The temperature (27–291K) dependent dc resistivity of a thin-film silver library of varying thickness (48–639nm) is presented to highlight the capabilities of the apparatus. The thickness dependence of both the resistivity and the temperature coefficient of resistivity are quantitatively consistent with the literature. For thicknesses greater than about 100nm, the room-temperature resistivity (3.4μΩcm) are consistent with Matthiessen’s rule for 1%–2% impurity content, and the temperature coefficient of resistivity is consistent with the bulk value. For thicknesses less than 100nm, an increase in resistivity by a factor of 8 is found, which may be due to surface and boundary scattering effects; a corresponding increase in the temperature coefficient of resistivity is consistent with a concomitant decrease in the magnitude of the elastic constants and surface scattering effects.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,002
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesCharge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Sans objet · Signal consensuel: Sans objet
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,280
Score d'incertitude au seuil1,000

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0020,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0010,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,001
Communication savante0,0000,001
Science ouverte0,0010,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0010,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,021
Tête enseignante GPT0,277
Écart entre enseignants0,256 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle