MétaCan
Menu
Retour à la cohorte
Enregistrement W1985269720 · doi:10.1116/1.1472423

Amorphous silicon nitride deposited at 120 °C for organic light emitting display-thin film transistor arrays on plastic substrates

2002· article· en· W1985269720 sur OpenAlexafffund
D Stryahilev, Andrei Sazonov, Arokia Nathan

Notice bibliographique

RevueJournal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films · 2002
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueThin-Film Transistor Technologies
Établissements canadiensUniversity of Waterloo
Organismes subventionnairesNatural Sciences and Engineering Research Council of CanadaUniversity of Waterloo
Mots-clésMaterials scienceThin-film transistorAmorphous solidOptoelectronicsSilicon nitrideSubthreshold slopeDielectricChemical vapor depositionActive matrixThin filmAmorphous siliconNitrideTransistorPlasma-enhanced chemical vapor depositionSiliconThreshold voltageNanotechnologyCrystalline siliconVoltageElectrical engineeringCrystallographyChemistry

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Nitrogen-rich amorphous silicon nitride (a-SiNx:H) films with [N]/[Si] ratios ranging from 1.4 to 1.7 were deposited by a 13.56 MHz plasma-enhanced chemical vapor deposition method at a temperature of 120 °C. The films’ composition, dielectric constant, electrical resistivity, and breakdown voltage were evaluated. The electrical properties of a-SiNx:H films with a [N]/[Si] ratio of more than 1.6 are superior to their lower N-content counterparts. Amorphous silicon thin film transistors (TFTs) that incorporate a-SiNx:H dielectrics were fabricated on glass and plastic substrates at a maximum processing temperature of 120 °C. The TFTs exhibit effective field effect mobility of 0.5–0.8 cm2/V s, an ON current of ∼10−5 A, an ON/OFF ratio of more than 106 and a subthreshold slope of 0.5 V/dec. The performance of the transistors seems to be compatible with application of them in active–matrix organic light emitting displays.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction machine sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: metacan-v3-hybrid-931329e0061cStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,002
Score d'incertitude au seuil0,006

Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0020,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,009
Tête enseignante GPT0,197
Écart entre enseignants0,188 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations67
Publié2002
Routes d'admission2
Résumé présentoui

Explorer davantage

Même revueJournal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and FilmsMême sujetThin-Film Transistor TechnologiesTravaux en français237 207