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Enregistrement W1985673848 · doi:10.1116/1.1689296

Organometallic vapor phase epitaxy of GaAs1−xNx alloy layers on GaAs(001): Nitrogen incorporation and lattice parameter variation

2004· article· en· W1985673848 sur OpenAlexafffund
J.-N. Beaudry, R. A. Masut, P. Desjardins, Peng Wei, M. Chicoine, G. Bentoumi, R. Leonelli, F. Schiettekatte, S. Guillon

Notice bibliographique

RevueJournal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films · 2004
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueSemiconductor materials and devices
Établissements canadiensUniversité de MontréalPolytechnique MontréalRegroupement Québécois sur les Matériaux de Pointe
Organismes subventionnairesCanada Research Chairs
Mots-clésTrimethylgalliumLattice constantEpitaxyAnalytical Chemistry (journal)Secondary ion mass spectrometryAlloyTransmission electron microscopyChemistryHigh-resolution transmission electron microscopyNitrogenMaterials scienceCrystallographyDiffractionIonMetalorganic vapour phase epitaxyNanotechnologyOpticsMetallurgy

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Epitaxial GaAs1−xNx alloy layers, nominally 200-nm-thick, with x up to 0.0375 were grown on GaAs(001) at temperatures Ts varying from 500 to 650 °C to investigate nitrogen incorporation and lattice parameter variations during organometallic vapor phase epitaxy from trimethylgallium, tertiarybutylarsine, and 1,1-dimethylhydrazine. Quantitative secondary ion mass spectrometry measurements (SIMS) indicate that N incorporation decreases systematically with increasing Ts to become almost negligible at 650 °C. All films are coherent with the substrate as judged by high-resolution x-ray reciprocal lattice mapping although atomic force microscopy and cross-sectional transmission electron microscopy reveal the presence of cracks in films with x>0.02. High-resolution x-ray diffraction measurements combined with SIMS analyses indicate that the lattice constant decreases linearly with increasing x following closely the predictions of Vegard’s rule for x<0.03. At higher concentrations, the lattice constant decreases more rapidly as a significant fraction of N atoms becomes incorporated in nonsubstitutional sites as demonstrated by nuclear reaction analysis.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction machine sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: metacan-v3-hybrid-931329e0061cStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,004
Score d'incertitude au seuil0,009

Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0010,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,012
Tête enseignante GPT0,241
Écart entre enseignants0,229 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations19
Publié2004
Routes d'admission2
Résumé présentoui

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