Organometallic vapor phase epitaxy of GaAs1−xNx alloy layers on GaAs(001): Nitrogen incorporation and lattice parameter variation
Notice bibliographique
Résumé
Epitaxial GaAs1−xNx alloy layers, nominally 200-nm-thick, with x up to 0.0375 were grown on GaAs(001) at temperatures Ts varying from 500 to 650 °C to investigate nitrogen incorporation and lattice parameter variations during organometallic vapor phase epitaxy from trimethylgallium, tertiarybutylarsine, and 1,1-dimethylhydrazine. Quantitative secondary ion mass spectrometry measurements (SIMS) indicate that N incorporation decreases systematically with increasing Ts to become almost negligible at 650 °C. All films are coherent with the substrate as judged by high-resolution x-ray reciprocal lattice mapping although atomic force microscopy and cross-sectional transmission electron microscopy reveal the presence of cracks in films with x>0.02. High-resolution x-ray diffraction measurements combined with SIMS analyses indicate that the lattice constant decreases linearly with increasing x following closely the predictions of Vegard’s rule for x<0.03. At higher concentrations, the lattice constant decreases more rapidly as a significant fraction of N atoms becomes incorporated in nonsubstitutional sites as demonstrated by nuclear reaction analysis.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».