X-ray observation of large-diameter Cz-silicon by a 300-mm-wide monochromatic beam
Notice bibliographique
Résumé
A general review will be presented of recent synchrotron white beam x-ray topography (swbxt) studies of defects in SiC single crystals carried out at Stony Brook and at the Stony Brook Synchrotron Topography Station at the National Synchrotron Light Source, Brookhaven National Laboratory. Results will be presented from studies of (a) 4h and 6h SiC substrates growth by physical vapor transport, (b) homoepitaxial layers grown on such substrates, (c) hetereoepitaxial layers grown on 4h substrates, and (d) sic device structures. Swbxt results will be correlated with those from afm, Nomarski optical microscopy, high resolution triple-axis x-ray diffraction (hrtxd), sem and tem studies carried out on the same crystals. From (a), substrate defects observed include closed-core and hollow-core screw dislocations (micropipes) in 6h and 4h, deformation-induced basal plane dislocations in 6h and 4h; and small angle boundaries in 4h. The possible origins for these defects will be discussed. Studies investigating the relationship between micropipe hollow-core diameter and the burgers vector will also be outlined, including the techniques used for burgers vector determination. From (b) results from studies of the correlation between substrate and epilayer defects in 6h/6h homoepitaxial layers will be presented. From (c) polytype mapping in 3c/4h sic heterostructures will be described. The relationship between substrate and epilayer defects will again be explored as will the lattice mismatch between epilayer and substrate as indicated by a combination of swbxt and hrtxd. In (d) examples of research exploring the influence of defects on device performance will be presented.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,003 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».