<title>Air optical breakdown on silicon as a novel method to fabricate photoluminescent Si-based nanostructures</title>
Notice bibliographique
Résumé
A novel dry, vacuum-free laser-assisted method for a fabrication of nanostructured Si/SiO<SUB>x</SUB> layers on a silicon wafer is demonstrated. This method uses the phenomenon of air optical breakdown to modify a semiconductor surface. Pulsed radiation from a CO<SUB>2</SUB> laser was focused on a silicon wafer to initiate the optical breakdown in atmospheric pressure air. After several breakdown initiations near the threshold of plasma production, a gray-tint layer was formed under the radiation spot on the silicon surface. The size of the processed area could be controlled by varying the radiation focusing conditions. Properties of the layers were studied by optical and SEM microscopies, XPS, XRD, Specular X-ray Reflectivity and PL spectroscopy. It was found that the layers had the porosity of about 75-80% and contained nanoscale holes and channels. They consisted of silicon nanocrystals embedded in SiO<SUB>2</SUB> matrix and exhibited strong photoluminescence (PL) at 1.9-2.0 eV, which could be seen by naked eyes. Possible mechanisms of nanostructure formation and PL origin are discussed. The method can be used for a controlled local patterning of photoluminescent nanostructured materials.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».