Trench isolated rib waveguides on silicon-on-insulator
Notice bibliographique
Résumé
The current trend towards integrating CMOS circuitry and photonic devices on silicon-on-insulator (SOI) wafers into monolithic optoelectronic circuits requires modification of the traditional rib waveguide to provide a planar surface. One possible modification involves creating a trench on either side of the rib and then filling this trench with a planarizing oxide. The resulting planar surface is much more compatible with the photolithographic systems required to print the small dimensions found in state-of-the-art CMOS. We report the fabrication of prototype trench-isolated waveguides, measurement of optical performance and comparison with simulation. 2.5 μm thick Si film was utilized with 0.5 μm deep trenches ranging from 1 to several microns in width. Rib widths ranged from 2 μm to 3 μm (the maximum value providing single mode propagation). Allowed modes were determined with FEMLAB, while beam propagation was studied using Optiwave BPM. Simulation indicated mode confinement would be lost for trench widths less than 1.5 μm. The narrowest trench width which could be fabricated was 2.0 μm, and qualitative optical testing shows good mode confinement to the central rib for a trench geometry greater than 3.0 μm.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».