Characterization of Integrated Planar Photonic Crystal Circuits Fabricated by a CMOS Foundry
Notice bibliographique
Résumé
Integrated planar photonic crystal circuits in silicon on insulator were fabricated with a single-etch-step process by a foundry using complementary metal-oxide-semiconductor processing techniques. The devices studied integrate three key elements: i) input/output grating couplers consisting of 2D uniform arrays of holes, ii) single transverse electric (TE)/single transverse magnetic (TM) mode channel waveguides, and iii) a photonic crystal linear three hole defect (L3) microcavity. Experimentally measured s- and p-polarized transmission, both from grating-to-grating through a uniform silicon slab region, and through the channel waveguide/L3 cavity circuit, were quantitatively compared with finite-difference time-domain simulations. Excellent agreement is achieved assuming circular, vertical side-wall holes, but this requires accurate post-fabrication characterization of actual versus nominal device parameters, including especially the silicon device layer thickness. While s-polarized incident radiation excites TE modes that exhibit typical resonant cavity (filter-like) transmission, p-polarized incident radiation excites TM modes that non-resonantly propagate through the circuit with comparable transmission efficiency. The dependence of the grating coupler tuning range on hole diameter, and the addition of a photoresist covering is determined.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».