Rotational MEMS mirror with latching arm for silicon photonics
Notice bibliographique
Résumé
We present an innovative rotational MEMS mirror that can control the direction of propagation of light beams inside of planar waveguides implemented in silicon photonics. Potential applications include but are not limited to optical telecommunications, medical imaging, scan and spectrometry. The mirror has a half-cylinder shape with a radius of 300 μm that provides low and constant optical losses over the full angular displacement range. A circular comb drive structure is anchored such that it allows free or latched rotation experimentally demonstrated over 8.5° (X-Y planar rotational movement) using 290V electrostatic actuation. The entire MEMS structure was implemented using the MEMSCAP SOIMUMPs process. The center of the anchor beam is designed to be the approximate rotation point of the circular comb drive to counter the rotation offset of the mirror displacement. A mechanical characterization of the MEMS mirror is presented. The latching mechanism provides up to 20 different angular locking positions allowing the mirror to counter any resonance or vibration effects and it is actuated with an electrostatic linear comb drive. An innovative gap closing structure was designed to reduce optical propagation losses due to beam divergence in the interstitial space between the mirror and the planar waveguide. The gap closing structure is also electrostatically actuated and includes two side stoppers to prevent stiction.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».