Design and Fabrication of a Novel MEMS Capacitive Transducer With Multiple Moving Membrane, ${\rm M}^{3}$-CMUT
Notice bibliographique
Résumé
A novel capacitive micromachined ultrasonic transducer is designed and fabricated. This transducer employs a stack of two deflectable membranes suspended over a fixed bottom electrode. In this configuration, the two moving membranes deflect simultaneously in response to a bias voltage, which results in a smaller effective cavity height compared with the conventional capacitive transducers. Electromechanical and acoustic analyses are conducted to investigate the transducer properties. A set of seven transducers with radii ranging from 30 to 55 μm were fabricated utilizing a sacrificial microelectromechanical system fabrication technology. Electrical measurements were performed and were compared with results from physical deflection measurements utilizing an optical vibrometer system. The results have been compared with analytical models as well as characterization of a set of five conventional, single membrane, transducers fabricated with the same technology. These experiments indicate a good agreement between the model and measured data. A larger membrane deflection and smaller cavity height are achieved from the double membrane devices. Therefore, this type of device may enhance the transducer acoustic power generation capability as well as increasing its sensitivity both of which result from the reduction in the transducer effective cavity height.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».