Ionic carbamate photoacid/photobase generators for the advancement of dual-tone photolithography
Notice bibliographique
Résumé
Current work in lithographic patterning has been carried out using 193 nm excitation sources, limiting the pitch division to approximately λ/2 and, thus, the advancement of Moore's law. Recently, double patterning has emerged as a potential extension of 193 nm techniques as two lines can be patterned in one exposure. In this contribution, the double patterning features of single component carbamate photoacid/photobase generators (PAG/PBG) are examined. At lower exposure doses, sulfonic acid is generated, while at higher doses, a photochemical rearrangement is initiated to activate the PBG. Optimally, at intermediate doses, photoacid and photobase components can exist concurrently resulting in the desired dual tone lithographic features. The energy required to initiate dual tone behavior can be tailored through co-added amine quenchers and carbamate concentration. Using ellipsometry, the energy required for the resists to have the first sign of photoacid generation (film dissolution), E<sub>0</sub>, and at the energy required for photobase activation (E<sub>n</sub>) were determined, as this value dictates the ability to achieve the desired pitch division.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».