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Enregistrement W1995196018 · doi:10.1143/jjap.39.4395

In-Situ Transmission Electron Microscopy and Electron Energy Loss Spectroscopy Observation of TiN Grown by N-Implantation

2000· article· en· W1995196018 sur OpenAlexfundno aff
Y. Kasukabe, Hiromitsu Tani Hiromitsu Tani, Hiroaki Abe, Yukio Yamada Yukio Yamada

Notice bibliographique

RevueJapanese Journal of Applied Physics · 2000
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueMetal and Thin Film Mechanics
Établissements canadiensnon disponible
Organismes subventionnairesNatural Sciences and Engineering Research Council of CanadaVetenskapsrådet
Mots-clésTinTransmission electron microscopyElectron energy loss spectroscopyMaterials scienceCrystallographyIon implantationAnalytical Chemistry (journal)SpectroscopyEpitaxyTitaniumCovalent bondNitridingIonNanotechnologyChemistryMetallurgyLayer (electronics)

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Nitrogen ions (N 2 + ) with 62 keV were implanted into evaporated-Ti films in the 400 kV analytical and high resolution transmission electron microscopy (TEM) combined with ion accelerators at JAERI-Takasaki. Observations by in-situ TEM equipped with electron energy loss spectroscopy, along with the discrete variational X α molecular orbital calculations, revealed changes in the crystallographic and electronic structures of evaporated-Ti films due to N-implantation. A (001)-oriented NaCl-type TiN y is epitaxially formed by the transformation of (03·5)-oriented hcp-Ti to (001)-oriented fcc-Ti and by the occupation of N in the octahedral (O-) sites, whereas a (110)-oriented TiN y is formed by nitriding a (110)-oriented TiH x . The release of H from the TiH x occurs preferentially rather than the occupation of N in the O-sites of fcc-Ti sublattice. The loss peak due to volume plasmon of areas where TiH x has grown in the as-grown Ti film shifts to lower loss energy in the early N-implanting stage, while that of areas, where hcp-Ti has grown, gradually shifts to higher loss energies with increasing N dose. Analysis of Mulliken bond overlap populations determines that occupation of N in the O-sites gives rise to weakening Ti-Ti bonds and formation of Ti-N covalent bonds. The growth process of TiN y accompanied by changes of the crystallographic and electronic structures of Ti films due to N-implantation is discussed.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,008
Score d'incertitude au seuil0,546

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,005
Tête enseignante GPT0,215
Écart entre enseignants0,210 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations0
Publié2000
Routes d'admission1
Résumé présentoui

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