All-metal AFM probes fabricated from microstructurally tailored Cu–Hf thin films
Notice bibliographique
Résumé
A growing number of atomic force microscope (AFM) applications make use of metal-coated probes. Probe metallization can cause adverse side-effects and disadvantages such as stress-induced cantilever bending, thermal expansion mismatch, increased tip radius and limited device lifetime due to coating wear. In this study we demonstrate how to overcome these limitations using microstructural design to create a metallic glass thin film alloy, from which monostructural all-metal AFM cantilevers are fabricated. A detailed compositional study of co-sputtered Cu-Hf films is performed using x-ray diffraction (XRD), nanoindentation, four-point probe and in situ multi-beam optical stress sensing (MOSS). Metallic glass Cu(90)Hf(10) films are found to possess an optimal combination of electrical resistivity (96 microOmega cm), nanoindentation hardness (5.2 GPa), ductility and incremental stress. A continuum model is developed which uses measured MOSS data to predict cantilever warping caused by stress gradients generated during film growth. Subsequently, a microfabrication process is developed to create Cu(90)Hf(10) AFM probes. Uncurled, 1 microm thick cantilevers having lengths of 100-400 microm are fabricated, with tip radii ranging from 10 to 40 nm. As a proof of principle, these all-metal Cu-Hf AFM probes are mounted in a commercial AFM and used to successfully image a known test structure.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».