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Enregistrement W1998114622 · doi:10.1116/1.1396644

Periodic submicrometer structures by sputtering

2001· article· en· W1998114622 sur OpenAlex
Brian Dick, Michael J. Brett, T. Smy, M. Belov, M. R. Freeman

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevueJournal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena · 2001
Typearticle
Langueen
DomaineMaterials Science
ThématiqueOptical Coatings and Gratings
Établissements canadiensCarleton UniversityUniversity of Alberta
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésMaterials scienceSputteringDeposition (geology)Sputter depositionMicrostructureEvaporationFabricationSubstrate (aquarium)OpticsThin filmOptoelectronicsCollimated lightNanotechnologyComposite materialPhysicsLaser

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

It is known that glancing angle deposition (GLAD) utilizing extreme self-shadowing during film growth can produce periodic microstructures on a predefined seed layer using electron-beam evaporation. This deposition process has been applied to the fabrication of periodic arrays of magnetic pillars and has possible applications in optical devices. Critical to the production of these microstructures is adherence to a narrow angular flux distribution centered at an oblique incidence angle, and optimizing the seed pattern for the desired film characteristics. In this article, a low-pressure, long-throw collimated GLAD sputter deposition has been used to fabricate submicrometer scale periodic pillar and quasihelical microstructures over a range of seed separations (e.g., 150, 300, 600, 900, and 1200 nm) and deposition angles (82.5° and 86° with respect to the substrate normal). We have found that for fixed deposition parameters, periodic quasihelical growth degenerates into pillars as the seed separation increases, and that the transitional region over which this degeneration occurs shifts to high seed separations with increasing flux incidence angles. This and other growth trends are also observed and described using the three-dimensional (3D) ballistic simulator, 3D-FILMS, which has proven to be successful in simulating the growth of aperiodic and periodic GLAD films. The use of sputtering for periodic GLAD simplifies the process control, and should enable deposition of a broader range of materials for diverse applications including magnetics, optics, and sensors.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,001
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,034
Score d'incertitude au seuil0,903

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0010,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0010,001
Études des sciences et des technologies0,0010,001
Communication savante0,0010,001
Science ouverte0,0010,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,011
Tête enseignante GPT0,229
Écart entre enseignants0,218 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle