Vacuum ultraviolet to visible emission from hydrogen plasma: Effect of excitation frequency
Notice bibliographique
Résumé
The expanding use of low pressure (p⩽10 Torr), high frequency plasmas in various applications has stimulated research toward increased operating efficiency. In order to optimize a particular plasma process, the operator can vary several “external” (operator-set) parameters, among which the excitation frequency f has received relatively little attention in the literature over the years, probably due to the difficulties encountered in designing meaningful frequency-dependent experiments. These difficulties can be avoided by the use of surface-wave discharges (SWDs), which possess great flexibility: a very broad (continuous) range of excitation frequencies, and wide ranges of operating pressures and plasma densities, under noncritical, almost perfect impedance matching with the power source. In earlier work in these laboratories, we have examined the f dependence of plasma deposition and etching experiments; the present experiments have been designed to investigate the f dependence more “directly” by turning to the plasma through its optical emission. The vacuum ultraviolet to visible emission from SWD plasmas in pure hydrogen or 7%H2 in Ar mixture has been investigated over a broad range of excitation frequency (50⩽f⩽200 MHz) using a spectrophotometer with a known transfer function. The observed f dependence of emission intensity (atomic lines and molecular bands) as f is increased is interpreted in the case of the pure H2 discharge in terms of changes from a nonstationary to a stationary electron energy distribution function (EEDF) while, in the 7%H2/Ar mixture, it is related to changes in the form of the stationary EEDF.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».