Growth and characterization of ultrahigh vacuum/chemical vapor deposition SiGe epitaxial layers on bulk single-crystal SiGe and Si substrates
Notice bibliographique
Résumé
High-quality SiGe epitaxial layers have been grown on low-defect-density bulk single-crystal SiGe substrates using low-temperature ultrahigh vacuum chemical vapor deposition (UHV/CVD). The layers were simultaneously grown on Si substrates for comparison. Various techniques, including high-resolution x-ray diffraction (HRXRD), photoluminescence (PL), Auger electron spectroscopy, atomic force microscopy (AFM), and cross-sectional transmission electron microscopy (XTEM) were used to characterize the structural quality of the materials. There is good agreement between different techniques for the determination of the composition and thickness of the layers. HRXRD, PL, and XTEM results confirm that the materials deposited are high-quality single-crystal epilayers. The surface root-mean-square roughness measured by AFM is less than 0.4 nm, indicating very smooth surfaces. A thin undoped Si buffer layer was found to improve the structural quality of the layers. The bulk crystal SiGe substrates are useful for the growth of thick lattice-matched and strained SiGe epilayers.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».