The Degradation Prevention of Resin Materials for Semiconductor Manufacturing Equipment by Applying the Ultra-High Purity Gas Supply Technology
Notice bibliographique
Résumé
The production (molding) guideline to realize ultraclean resin components for semiconductor equipment has been established. In this paper, we focused on the degradation behavior of resin materials for the purpose of reducing low-molecular-weight volatile contaminants concentration in resin components because the molding is carried out at high temperature and low-molecular-weight volatile contaminants are produced by thermal degradation. It was clarified that the oxygen concentration in high temperature molding environment is required to be below 1 ppm. And as the contact surface of the thermal degradation prevention for the resin material, the following surface materials are effective. 1) Passivation surface for a hydrocarbon resin. 2) Ni (nickel) surface for a fluorocarbon resin. As a result, we found the degradation prevention of the resin material can be realized until around 400 °C although the degradation was observed even under 200 °C if using current process condition. Therefore, low-molecular-weight volatile contaminants can be drastically reduced from resin components by using the guideline and ultraclean semiconductor equipment must be realized.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,003 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,001 |
| Communication savante | 0,001 | 0,002 |
| Science ouverte | 0,003 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».