Deep-ultraviolet-induced damage of charge coupled device sensors
Notice bibliographique
Résumé
In order to facilitate the inspection of deep-submicron features, a generation of semiconductor inspection systems are being pushed to image using deep-ultraviolet (UV) sensitive cameras at increasingly shorter wavelengths. In this article, we present a deep-UV sensitive thinned front-illuminated linear charge coupled device (CCD) image sensor structure and investigate its behavior after exposure to F2 (λ=157 nm) excimer laser. Two key manifestations of radiation damage are observed: (1) Extrinsic quantum efficiency drifts with increasing 157 nm exposure, and (2) dark current increases almost exponentially with 157 nm exposure. These fluctuations in CCD parameters can be caused by several factors including UV-induced color center formation in the oxide, charge generation in the oxide, interface modification, and structural rearrangement. These UV-induced effects alter the optical and electrical properties of the oxide and Si–SiO2 interface, resulting in both temporal and permanent shifts in device performance. The experimental results suggest that careful control of the oxide thickness and the Si–SiO2 interface quality are critical for realizing CCD sensors with high responsivity and stability for deep-UV imaging.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,002 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».