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Enregistrement W2001128371 · doi:10.1116/1.1486005

Study of the properties of thin films of silicon nitride and silicon oxide using effective medium theories

2002· article· en· W2001128371 sur OpenAlex
Redhouane Henda

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevueJournal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films · 2002
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueSurface Roughness and Optical Measurements
Établissements canadiensLaurentian University
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésSilicon nitrideMaterials sciencePercolation (cognitive psychology)SiliconSilicon oxidePercolation theoryOxideThin filmChemical vapor depositionCondensed matter physicsNanotechnologyOptoelectronicsPhysicsChemistryPhysical chemistryMetallurgy

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Effective medium theories (EMTs) find widespread applications in the general area of condensed matter. In this article, EMTs are used to investigate the properties of thin films of silicon nitride (SiNx) and silicon oxide (SiOx) produced by the low-pressure chemical vapor deposition technique. Experimental data on the technologically important properties, such as the optical constants and density, of these materials are compared with theoretical predictions using Clausius–Mossotti, Maxwell-Garnett, and Bruggemann equations. For both materials, the results show a good agreement between theoretical predictions as obtained from the solution of the Bruggemann equation and the experimental data up to the percolation threshold. The experimental results agree fairly well with the calculated results obtained through the solution of the Maxwell-Garnett equation, but the latter fails to predict the transition present in the composition versus optical constant curves of both materials.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,001
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,027
Score d'incertitude au seuil0,514

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0010,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0010,000
Bibliométrie0,0000,001
Études des sciences et des technologies0,0000,001
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0010,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,021
Tête enseignante GPT0,230
Écart entre enseignants0,209 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle