Deep Levels in As-Grown 4H-SiC Epitaxial Layers and their Correlation with CVD Parameters
Notice bibliographique
Résumé
Abstract. Nitrogen doped 4H-SiC epitaxial layers grown by hot-wall chemical vapor deposition were investigated by deep level transient spectroscopy in the as-grown state. Besides the Z1,2 defect level at EC- 0.66 eV, that seems to be omnipresent, four other electron traps labeled IL1 to IL4 with ionization energies between 0.87 and 1.31 eV could be detected. The dependence of the deep level concentrations on the incorporated N concentration ranging from few 1014 to some 1015 cm-3 and the C/Si ratio (1.2¸3) was examined. The concentration of both Z1,2 and IL1 increases with increa-sing N doping. For medium C/Si ratios this dependence is linear for Z1,2 and quadratic for IL1. High C/Si ratios enhance the formation of Z1,2 while they suppress that of IL1. These results suggest a complex of interstitial C and N on carbon site (Ci-NC) for Z1,2 and a nitrogen pair (NC-Ni) for IL1. However, other possibilities like Si vacancy related defects cannot be ruled out at present.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».