Deep Levels in As-Grown 4H-SiC Epitaxial Layers and their Correlation with CVD Parameters
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Abstract. Nitrogen doped 4H-SiC epitaxial layers grown by hot-wall chemical vapor deposition were investigated by deep level transient spectroscopy in the as-grown state. Besides the Z1,2 defect level at EC- 0.66 eV, that seems to be omnipresent, four other electron traps labeled IL1 to IL4 with ionization energies between 0.87 and 1.31 eV could be detected. The dependence of the deep level concentrations on the incorporated N concentration ranging from few 1014 to some 1015 cm-3 and the C/Si ratio (1.2¸3) was examined. The concentration of both Z1,2 and IL1 increases with increa-sing N doping. For medium C/Si ratios this dependence is linear for Z1,2 and quadratic for IL1. High C/Si ratios enhance the formation of Z1,2 while they suppress that of IL1. These results suggest a complex of interstitial C and N on carbon site (Ci-NC) for Z1,2 and a nitrogen pair (NC-Ni) for IL1. However, other possibilities like Si vacancy related defects cannot be ruled out at present.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle