Electron energy loss spectroscopy of interfacial layer formation in Gd2O3 films deposited directly on Si(001)
Notice bibliographique
Résumé
High-resolution transmission electron microscopy and electron energy loss spectroscopy (EELS) were used to study the interfacial layers formed in Gd2O3 films on Si(001) during rapid thermal annealing at 780 °C in an O2 ambient. Oxygen diffuses through the films and reacts with the substrate to form a SiO2 layer and an intermediate layer containing Gd2O3 and SiO2. Singular value decomposition was used to profile the Si, SiO2, and Gd2O3 components through the film from the characteristic spectra observed in the Si L2,3, Gd N4,5 and O K-edge EELS. The profiling results support the results of x-ray photoelectron spectroscopy sputter profiling measurements and contribute to a complete picture of the chemical bonding within the films. The ab initio multiple scattering method was used to simulate the observed EELS spectra at the Si L2,3 and O K edges and provide further insight into the chemical bonding of the film and the origin of spectral features. For SiO2, the Si L2,3 EELS is due only to the first-neighbor oxygen atoms. The O K-edge EELS for Gd2O3 is also due only to Gd first neighbors, while the SiO2 EELS is very sensitive to the number of O second neighbors as well as the Si first neighbors.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».