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Enregistrement W2001951901 · doi:10.1063/1.1446232

Electron energy loss spectroscopy of interfacial layer formation in Gd2O3 films deposited directly on Si(001)

2002· article· en· W2001951901 sur OpenAlexaff
Gianluigi A. Botton, J. A. Gupta, D. Landheer, J. P. McCaffrey, G. I. Sproule, M. J. Graham

Notice bibliographique

RevueJournal of Applied Physics · 2002
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueSemiconductor materials and devices
Établissements canadiensInstitute for Microstructural SciencesNatural Resources Canada
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésElectron energy loss spectroscopyX-ray photoelectron spectroscopySputteringAnnealing (glass)SpectroscopyTransmission electron microscopyElectron spectroscopyAnalytical Chemistry (journal)Materials scienceSiliconThin filmSpectral lineK-edgeChemical bondChemistryNanotechnologyNuclear magnetic resonanceOptoelectronics

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

High-resolution transmission electron microscopy and electron energy loss spectroscopy (EELS) were used to study the interfacial layers formed in Gd2O3 films on Si(001) during rapid thermal annealing at 780 °C in an O2 ambient. Oxygen diffuses through the films and reacts with the substrate to form a SiO2 layer and an intermediate layer containing Gd2O3 and SiO2. Singular value decomposition was used to profile the Si, SiO2, and Gd2O3 components through the film from the characteristic spectra observed in the Si L2,3, Gd N4,5 and O K-edge EELS. The profiling results support the results of x-ray photoelectron spectroscopy sputter profiling measurements and contribute to a complete picture of the chemical bonding within the films. The ab initio multiple scattering method was used to simulate the observed EELS spectra at the Si L2,3 and O K edges and provide further insight into the chemical bonding of the film and the origin of spectral features. For SiO2, the Si L2,3 EELS is due only to the first-neighbor oxygen atoms. The O K-edge EELS for Gd2O3 is also due only to Gd first neighbors, while the SiO2 EELS is very sensitive to the number of O second neighbors as well as the Si first neighbors.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,008
Score d'incertitude au seuil0,450

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,011
Tête enseignante GPT0,212
Écart entre enseignants0,201 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations36
Publié2002
Routes d'admission1
Résumé présentoui

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