Electrical probe calibration and power calculation for a miniature 13.56 MHz plasma source
Notice bibliographique
Résumé
The paper highlights and provides solutions to the difficulties encountered with electrical probe measurements performed on a miniature, high capacitive impedance plasma device excited at 13.56 MHz. It is shown that a proper calibration of the phase angle between the circuit current and load voltage signals is required when commercial capacitive voltage probes (Tektronix P6139A and P5100 models) are used. A method to calculate the electrical characteristics of the plasma source and accounting for this calibration is described. The P6139A probe, which has the largest input capacitance and shortest cable length, introduced the smallest phase angle (−2 ± 1°), while the P5100 probe, which is used for higher input voltages and has a longer cable length, introduced a considerably larger phase angle (−34 ± 1°) for typical resistive loads. Simple circuit models are developed in an attempt to isolate the phase induced by the probe capacitance and cable length. The application of the proposed calibration to a miniature atmospheric pressure glow discharge source considerably reduced the error in the calculation of the power dissipated in the plasma device, though it remained relatively high (1 W ± 42%) due to the highly capacitive nature of the device.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».