Nanofabrication of high aspect ratio structures using an evaporated resist containing metal
Pourquoi ce travail est dans la base
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Notice bibliographique
Résumé
Organic electron beam resists are typically not resistant to the plasma etching employed to transfer the pattern into the underlying layer. Here, the authors present the incorporation of a metal hard mask material into negative resist polystyrene by co-evaporation of the polystyrene and the metal onto a substrate. With a volume ratio of 1:15 between Cr and polystyrene, this nanocomposite resist showed an etching selectivity to silicon one order higher than pure polystyrene resist. Silicon structures of 100 nm width and 3.5 μm height (aspect ratio 1:35) were obtained using a non-switching deep silicon etching recipe with SF6 and C4F8 gas. Moreover, unlike the common spin coating method, evaporated nanocomposite resist can be coated onto irregular and non-flat surfaces such as optical fibers and AFM cantilevers. As a proof of concept, we fabricated high aspect ratio structures on top of an AFM cantilever. Nanofabrication on non-flat surfaces may find applications in the fields of (AFM) tip enhanced Raman spectroscopy for chemical analysis and lab-on-fiber technology.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle