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Enregistrement W2003667170 · doi:10.1116/1.591250

High resolution sampling electrostatic force microscopy using pulse width modulation technique

2000· article· en· W2003667170 sur OpenAlexafffund
R. A. Said, S. P. Cheung, Greg E. Bridges

Notice bibliographique

RevueJournal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena · 2000
Typearticle
Langueen
DomainePhysics and Astronomy
ThématiqueForce Microscopy Techniques and Applications
Établissements canadiensUniversity of Manitoba
Organismes subventionnairesNatural Sciences and Engineering Research Council of CanadaUnited Arab Emirates University
Mots-clésPulse-width modulationMicroscopeCantileverMaterials scienceVoltageModulation (music)Sampling (signal processing)OpticsBandwidth (computing)Non-contact atomic force microscopyElectrostatic force microscopeResolution (logic)Electronic circuitPulse (music)MicroscopyPulse-frequency modulationTemporal resolutionAcousticsPhysicsPulse-amplitude modulationKelvin probe force microscopeComputer scienceDetectorTelecommunications

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

This article presents a sampling electrostatic force microscopy technique for high frequency integrated circuit internal measurement that utilizes a pulse width modulation method. The electrostatic force microscope is a class of scanning probe microscopes that is capable of providing noninvasive measurements of the electrical signals inside operating integrated circuits with very high spatial resolution. With this technique, the internal circuit voltage is determined by sensing the local electrostatic force on a miniature probe cantilever that is closely positioned above the circuit test point. The ability to extract repetitive voltage wave forms using direct force measurement is typically limited by the mechanical response of the probe. To overcome the measurement bandwidth limitation of the electrostatic force microscope previous methods have employed a modulated high bandwidth sampling pulse approach. The temporal resolution of these pulse sampling methods is limited by the pulse width. This article presents a pulse width modulation method. The resolution of the pulse width modulation technique is not dependent on the pulse width, but rather on the modulation depth. This enhances measurement resolution several times more than previous methods. The current instrument has a voltage sensitivity of 10 mVrms/Hz1/2.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,001
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,225
Score d'incertitude au seuil0,952

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0010,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0010,001
Études des sciences et des technologies0,0010,001
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,015
Tête enseignante GPT0,277
Écart entre enseignants0,262 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations8
Publié2000
Routes d'admission2
Résumé présentoui

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