Tuning the electrical resistivity of pulsed laser deposited TiSiOx thin films from highly insulating to conductive behaviors
Notice bibliographique
Résumé
We report on the successful growth of amorphous TiSiOx thin films by means of pulsed-laser ablation of a TiO2/SiO2 composite target in a high-vacuum chamber. The room-temperature resistivity of the TiSiOx films is found to decrease by more than 6 orders of magnitude (i.e., from ∼2×104 to 10−2 Ω cm) when their substrate deposition temperature (Td) is increased from 20 to 600 °C. On the other hand, by subjecting these films to a post-deposition annealing at 600 °C in oxygen atmosphere, they become highly insulating with a resistivity level as high as 2×1010 Ω cm, regardless of the Td value. The presence of conductive titanium silicide and titanium sub-oxide local phases in the as-deposited TiSiOx films, as revealed by photoelectron spectroscopy analyses, appears to be the cause of the observed tremendous change in the film resistivity. In particular, it is shown that the resistivity of the TiSiOx films is strongly correlated with their oxygen content.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».