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Enregistrement W2006908714 · doi:10.1063/1.1516866

Effect of aging on wettability of silicon surfaces modified by Ar implantation

2002· article· en· W2006908714 sur OpenAlexafffund
Mathieu Chassé, J.R.H. Ross

Notice bibliographique

RevueJournal of Applied Physics · 2002
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueSemiconductor materials and devices
Établissements canadiensInstitut National de la Recherche Scientifique
Organismes subventionnairesNatural Sciences and Engineering Research Council of Canada
Mots-clésSiliconX-ray photoelectron spectroscopyContact angleArgonMaterials scienceFluenceWettingOxideAnalytical Chemistry (journal)TorrIrradiationIon implantationLayer (electronics)Silicon oxideOxygenIonChemistryNanotechnologyComposite materialChemical engineeringMetallurgySilicon nitride

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

The contact angles of most surfaces modified by ion implantation change with the passage of time. The aim of this experiment is to better understand the mechanism leading to the aging of argon implanted silicon oxide surfaces. Coupons of silicon with its native oxide layer have been irradiated by means of 3 keV Ar ions with a fluence of 1.8×1016 Ar/cm2. Some of the implantations have been performed under oxygen partial pressure (∼5×10−5 Torr). The samples have been characterized at different periods of time after the implantation, by means of contact angle hysteresis measurements and angle resolved x-ray photoelectron spectroscopy (ARXPS). Irradiation with Ar ions has produced a more hydrophilic surface immediately after implantation. With the passage of time, the contact angles have increased both in ambient air and in argon atmosphere. Characterization by means of XPS has shown that there is with time a small increase of the O concentration as well as a small decrease of the quantity of Ar in the silicon oxide surfaces. The shape of the C 1s and Si 2p spectra and their details are also slightly modified with the passage of time. A model using the ARXPS measurements suggests that for the samples implanted without oxygen, the aging would be principally due to the spreading of a natural carbonaceous surface layer dispersed into islands after the Ar implantation. The layer being more hydrophobic than the silicon oxide, its spreading would increase the apparent contact angles. On the other hand, the increase of the carbon concentration in the carbonaceous layer would produce a more hydrophobic surface and would be responsible for the aging of the samples implanted in O2 partial pressure. Results obtained by means of a simple model and the Cassie’s equation suggest that for the samples implanted without O2 gas, the contact angles of the substrate and the carbonaceous layer are 5° and 110°, respectively. The apparent contact angle obtained with the Cassie’s equation is in good agreement with the experimental measurements.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,078
Score d'incertitude au seuil0,336

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,011
Tête enseignante GPT0,225
Écart entre enseignants0,214 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations16
Publié2002
Routes d'admission2
Résumé présentoui

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