120 °C fabrication technology for a-Si:H thin film transistors on flexible polyimide substrates
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
In this article, we report a fabrication process for hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) thin film transistors (TFT) at 120 °C on flexible Kapton® substrates for large-area imaging applications. The samples are based on the bottom-gate inverted staggered TFT structure. Initially, both sides of the substrate are coated by amorphous silicon nitride (a-SiNx:H), followed by 120 nm of aluminum (Al) film for the gate. After gate patterning, a trilayer is deposited at 120 °C by plasma-enhanced chemical vapor deposition comprising of 250 nm a-SiNx:H gate dielectric, 50 nm a-Si:H, and 250 nm top (passivation) a-SiNx:H. After opening the contact windows, we deposit 35 nm of n+ a-Si:H at 120 °C. Next, a 1 μm Al top contact layer is deposited. The a-Si:H films are deposited from a gas mixture of silane (SiH4) and hydrogen. For the n+ a-Si:H layer, a hydrogen-diluted (1% PH3+99% SiH4) mixture is used. The a-SiNx:H films are deposited from a helium-diluted mixture of silane, ammonia and nitrogen. Dry etching is used except for the metal layers, where wet etching is used. The TFTs show an off-current less than 10−12 A, and an on-current of more than 10−6 A, thus giving an on/off current ratio greater than 106. The effective device mobility, μeff, is about 0.4 cm2/V s.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,003 | 0,003 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,002 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle