120 °C fabrication technology for a-Si:H thin film transistors on flexible polyimide substrates
Notice bibliographique
Résumé
In this article, we report a fabrication process for hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) thin film transistors (TFT) at 120 °C on flexible Kapton® substrates for large-area imaging applications. The samples are based on the bottom-gate inverted staggered TFT structure. Initially, both sides of the substrate are coated by amorphous silicon nitride (a-SiNx:H), followed by 120 nm of aluminum (Al) film for the gate. After gate patterning, a trilayer is deposited at 120 °C by plasma-enhanced chemical vapor deposition comprising of 250 nm a-SiNx:H gate dielectric, 50 nm a-Si:H, and 250 nm top (passivation) a-SiNx:H. After opening the contact windows, we deposit 35 nm of n+ a-Si:H at 120 °C. Next, a 1 μm Al top contact layer is deposited. The a-Si:H films are deposited from a gas mixture of silane (SiH4) and hydrogen. For the n+ a-Si:H layer, a hydrogen-diluted (1% PH3+99% SiH4) mixture is used. The a-SiNx:H films are deposited from a helium-diluted mixture of silane, ammonia and nitrogen. Dry etching is used except for the metal layers, where wet etching is used. The TFTs show an off-current less than 10−12 A, and an on-current of more than 10−6 A, thus giving an on/off current ratio greater than 106. The effective device mobility, μeff, is about 0.4 cm2/V s.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,007 | 0,003 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».