Kinetics of TiN Chemical Vapor Deposition Process using TiCl<sub>4</sub>and NH<sub>3</sub>for ULSI Diffusion Barrier Applications: Relationship between Step Coverage and NH<sub>3</sub>Partial Pressure
Notice bibliographique
Résumé
TiN films were deposited by chemical vapor deposition (CVD) using NH3 and TiCl4 as the source precursors. The effect of partial pressures of TiCl4 (PTiCl4) and NH3 (PNH3) on the growth rate and step coverage quality of these TiN films was measured, revealing the growth rate of TiN films followed the Langmuir–Hinshelwood (L–H) type isotherm as a function of PTiCl4. The sticking probability of film-forming species was estimated from the step coverage profile simulated by using the Monte Carlo method. The relationship between the sticking probability of Ti-containing species and PNH3 was investigated, revealing that the sticking probability in the 1st-order kinetic regime depended on PNH3. The effect of NH3 on the growth kinetics could be expressed by G.R.×ρTiN=[ksKCTiCl4/(1+KCTiCl4)]·(CNH3)2 in the wide range of PTiCl4. The reason for 2nd-order reaction for PNH3 is not clear yet, but the rate equation suggests the complicated gas-phase and/or surface reaction chemistries to form TiN.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».