Electrical conductivity of sidewall-deposited fluorocarbon polymer in SiO2 etching processes
Notice bibliographique
Résumé
High-aspect-ratio SiO2 contact hole etching is one of the key processes in the fabrication of ultralarge scale integration devices. However, there are many serious problems, such as charge-build-up damage, etching-stop, and microloading effects. Charge accumulation in high-aspect-ratio contact holes during etching is one of the main causes of these problems. In SiO2 etching using fluorocarbon gases, it is well known that a fluorocarbon film is deposited on the underlayer surface and sidewall of contact holes. It is also predicted that an increase in the conductivity of the fluorocarbon film deposited on the SiO2 sidewall markedly reduces the charging potential in the high-aspect-ratio contact holes because of the high conductivity of the deposited polymer. To clarify these phenomena, it is necessary to obtain quantitative measurements of the conductivity of the sidewall surfaces in contact holes. Therefore, we fabricated the sensing device using semiconductor production technology, and monitored sidewall current of SiO2 contact holes on the silicon wafer. The relationship between the chemical structure and sidewall current of the fluorocarbon films deposited in contact holes is investigated. We have found that highly cross-linked and unsaturated fluorocarbon polymer causes high sidewall conductivity in SiO2 contact holes. It is suggested that the deposited fluorocarbon film reduces the charging potential during the SiO2 etching process.
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,002 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».