The effects of non-uniform nanoscale deflections on capacitance in RF MEMS parallel-plate variable capacitors
Notice bibliographique
Résumé
This paper analyzes in detail the effect of nanoscale non-uniform deflections, caused by the residual stress phenomenon and/or applied actuation dc voltages, on the capacitance in RF MEMS parallel-plate variable capacitors in an effort to determine the severity of this effect on the ideal parallel-plate capacitance expression normally used.Closed-form capacitance expressions and integrals are given for second order, fourth order, elliptic paraboloidal and hyperbolic paraboloidal models of the bending behavior of the top plate caused by the residual stress and/or actuation.The theoretical analysis is then verified using the finite-element modeling method and results from both analyses exhibit excellent agreement.The equations obtained are then applied to a fabricated chip and other fabricated capacitors in the literature.It was found that anticipating the capacitance using the ideal parallel-plate formula can deviate from the capacitance incorporating the deflections by as much as 80%.The presented equations better anticipate the real capacitance of actual fabricated chips and can take into account deflections in the top plate even if they were in the order of a few nanometers.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».