Characterization of Ultrathin Electroless Barriers Grown by Self-Aligned Deposition on Silicon-Based Dielectric Films
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
A self-aligned, electrochemically integrated seeding/plating approach is developed for fabricating patterns of cobalt- (or nickel-) based metallic barriers and copper films selectively on silicon-based dielectric (hybrid siloxane-organic polymer and films using electroless plating. High-resolution X-ray absorption spectroscopy, transmission electron microscopy, atomic force microscopy, and grazing-incidence X-ray diffractometry indicate that, after they have been appropriately pretreated by a gaseous plasma or and basic aqueous solutions that contain sufficient amounts of peroxide hydrogen the dielectric films can adsorb highly populated metallic (nickel or cobalt) precipitates of sizes between 2 and 4 nm, which catalyze the deposition of ultrathin (⩽20 nm) barriers. The barriers are initially highly resistive and contain ultrafine (3-5 nm) crystallites embedded in amorphous-like, 20 nm grains, but become highly conductive (50-80 μΩ-cm) following optimal annealing at temperatures ⩾470°C because of crystallization, grain growth, and precipitation of Finally, the capacity of this method to fabricate "self-aligned" patterns of barrier and copper is established, and the adhesion strength and effectiveness of the barriers against copper's diffusion/drift are quantified. The importance of the plasma pretreatment and the use of hydrogen peroxide (in the SC-1 solution) is also addressed. © 2004 The Electrochemical Society. All rights reserved.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle