Characterization of Ultrathin Electroless Barriers Grown by Self-Aligned Deposition on Silicon-Based Dielectric Films
Notice bibliographique
Résumé
A self-aligned, electrochemically integrated seeding/plating approach is developed for fabricating patterns of cobalt- (or nickel-) based metallic barriers and copper films selectively on silicon-based dielectric (hybrid siloxane-organic polymer and films using electroless plating. High-resolution X-ray absorption spectroscopy, transmission electron microscopy, atomic force microscopy, and grazing-incidence X-ray diffractometry indicate that, after they have been appropriately pretreated by a gaseous plasma or and basic aqueous solutions that contain sufficient amounts of peroxide hydrogen the dielectric films can adsorb highly populated metallic (nickel or cobalt) precipitates of sizes between 2 and 4 nm, which catalyze the deposition of ultrathin (⩽20 nm) barriers. The barriers are initially highly resistive and contain ultrafine (3-5 nm) crystallites embedded in amorphous-like, 20 nm grains, but become highly conductive (50-80 μΩ-cm) following optimal annealing at temperatures ⩾470°C because of crystallization, grain growth, and precipitation of Finally, the capacity of this method to fabricate "self-aligned" patterns of barrier and copper is established, and the adhesion strength and effectiveness of the barriers against copper's diffusion/drift are quantified. The importance of the plasma pretreatment and the use of hydrogen peroxide (in the SC-1 solution) is also addressed. © 2004 The Electrochemical Society. All rights reserved.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».