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Enregistrement W2016823645 · doi:10.1063/1.3556745

Continuum model of surface roughening and epitaxial breakdown during low-temperature Ge(001) molecular beam epitaxy

2011· article· en· W2016823645 sur OpenAlexafffund
K. A. Bratland, T. Spila, David G. Cahill, J. E. Greene, P. Desjardins

Notice bibliographique

RevueJournal of Applied Physics · 2011
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueSemiconductor materials and devices
Établissements canadiensPolytechnique MontréalRegroupement Québécois sur les Matériaux de Pointe
Organismes subventionnairesNatural Sciences and Engineering Research Council of CanadaCanada Research ChairsU.S. Department of Energy
Mots-clésEpitaxyMolecular beam epitaxyMaterials scienceAmorphous solidSurface roughnessSurface finishCondensed matter physicsCoherence lengthSurface diffusionCrystallographyLayer (electronics)ChemistryNanotechnologyPhysicsComposite materialPhysical chemistry

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Numerical simulations based on a discrete model describing step edge motion are used to compute the surface morphological evolution of Ge(001) layers deposited by low-temperature (Ts = 45–230 °C) molecular beam epitaxy and to probe the relationship between surface roughening and the onset of epitaxial breakdown—the abrupt growth mode transition from epitaxial to amorphous—at temperature-dependent critical film thicknesses h1(Ts). Computed surface widths w and in-plane coherence lengths d as a function of layer thickness h exhibit good agreement with experimental values. Inspired by experimental results indicating that epitaxial breakdown is initiated at facetted interisland trenches as the surface roughness reaches a Ts-independent overall aspect ratio, we show that simulated data for w/d = 0.03 correspond to thicknesses h1 ∝ exp (−E1/kTs) with E1 = 0.63 eV, a value equal to the Ge adatom diffusion activation energy on Ge(001). Simulated h1 values agree well with experimental data. Above a critical growth temperature of 170 °C, computed w/d values saturate at large film thicknesses, never reaching the critical aspect ratio w/d = 0.03. Thus, the model also predicts that epitaxial breakdown does not occur for Ts > 170 °C as observed experimentally.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,050
Score d'incertitude au seuil0,705

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,009
Tête enseignante GPT0,181
Écart entre enseignants0,172 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations3
Publié2011
Routes d'admission2
Résumé présentoui

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