Two-dimensional radio-frequency sheath dynamics over a nonflat electrode with perpendicular magnetic field
Notice bibliographique
Résumé
A self-consistent fluid model is developed to simulate the radio-frequency (rf) plasma sheath dynamics over a nonflat electrode, with a magnetic field applied perpendicular to it. The model consists of the two-dimensional (2D) time-dependent fluid equations, coupled with the Poisson equation, and it uses an equivalent-circuit model to self-consistently determine the relationship between the instantaneous voltage at the rf-biased electrode and the sheath thickness. In addition to the usual plasma molding effects, different properties of the azimuthal ion flow associated with the E×B drift are observed and studied under varying discharge pressures and the magnetic field intensities. It is found that the azimuthal flow exhibits rather nonuniform distribution with a peak around the edge of a hole in the electrode. In addition, when the discharge pressure increases, the velocity of the azimuthal ion flow, as well as the velocities of ion flow in all other directions, are found to decrease, whereas the sheath edge is found to move closer to the electrode. While the variation of the magnetic field is found to have no significant effect on the sheath structure, the azimuthal ion flow velocity is found to increase in proportion to the magnetic field.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».