Characterization of Gd[sub 2]O[sub 3] Films Deposited on Si(100) by Electron-Beam Evaporation
Notice bibliographique
Résumé
Gadolinium oxide films were deposited on Si(100) substrates from a rod-fed electron beam evaporator using a pressed-powder target. Films 25 nm thick were shown to be stoichiometric by Rutherford backscattering and had a dielectric constant at 100 kHz of 16.0 ± 0.3. Transmission electron microscopy and X-ray reflectivity measurements showed that films 7-13 nm thick annealed in oxygen consisted of three distinct layers, an interfacial silicon dioxide layer next to the substrate, a second amorphous oxide layer containing silicon, gadolinium, and oxygen above this, and a polycrystalline layer on top. Annealing in oxygen reduced the leakage currents, increased the thickness of the silicon dioxide layer, and increased the grain size of the top layer. The characteristics of the leakage currents through the gadolinium oxide were consistent with a Frenkel-Poole conduction mechanism with a silicon- band offset of 1.8 V. Interfaces with excellent electrical properties, characteristic of good were obtained after annealing in oxygen. Annealing of the films in vacuum prior to oxygen annealing reduced the thickness of the interfacial silicon dioxide. © 2001 The Electrochemical Society. All rights reserved.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».