A novel dynamic pull-in MEMS gyroscope
Notice bibliographique
Résumé
The present paper analyzes numerically and experimentally the dependence of the dynamic pull-in voltage amplitude on the values of externally-induced accelerations (e.g. Coriolis accelerations in the case of vibratory gyroscopes). We have investigated the nonlinear dynamic behavior on two different device types, a micro-gyroscope (A) and a micro-accelerometer (B), both fabricated in the SOI-MUMPs process (25 μm thick structural layer). Experimental measurements on the MEMS structures have been performed using Polytec MSA-500 equipment for analyzing the mechanical motion. They indicate that the dynamic pull-in voltages reduce from 100 V to 56 V for device A and from 21.77 V to 17.3 V for device B, for an equivalent acceleration of 0.319 ms-2, when the structures are actuated at their resonance frequency. If the induced acceleration is translated into an equivalent angular rate, _ equivalent, modulating the Coriolisinduced motion, the dynamic pull-in voltages vary from 57.612 V to 56.5 V for device A type and from 20.9 V to 10.75 V for device B type, for a change of 1 rad/s to 5 rad/s in _equivalent.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».