Mass-resolved ion energy distributions in continuous dual mode microwave/radio frequency plasmas in argon and nitrogen
Pourquoi ce travail est dans la base
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Notice bibliographique
Résumé
The control of plasma-surface interactions in terms of synergistic effects of ions, photons, and chemically active species is important for the optimization of plasma enhanced chemical vapor deposition of thin films and for plasma-induced surface modification. In the present work, we use a dual-mode microwave/radio frequency (MW/rf) plasma system, in which we investigate the effect of plasma parameters (gas type and pressure, self-bias voltage, for example) on the energy and flux of ionic species arriving at the specimen surface. We determine the ion energy distribution functions (IEDFs) using a mass spectrometer/energy analyzer, in Ar and N2 discharges, excited at different frequencies. The results for Ar+, N2+, and N+ ions show structured IEDFs at the rf-powered electrode in the single- and dual-frequency modes, while a single peak is observed in the continuous MW plasma. The MW/rf plasma presents substantially higher ion flux and plasma density, and a much thinner sheath than the rf case. Changes in plasma impedance, measured by a rf current–voltage probe, support the results on plasma density and sheath thickness, determined from the IEDFs. The MW/rf discharge impedance displays a resistive behavior in contrast to rf plasma, where the impedance is capacitive.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle