Development of a novel translation micromirror for adaptive optics
Notice bibliographique
Résumé
Conventional translation micromirrors for adaptive optics use attractive electrostatic force and therefore have two limitations: 1) the stroke is limited to less than one third of the initial gap distance between the mirror plate and the substrate. Normally the stroke is in the range of submicrometers; 2) stiction happens during operation. A novel translation micromirror, which uses a repulsive electrostatic force, is presented in this paper. This novel translation micromirror completely overcomes the limitations associated with conventional translation micromirrors and its stroke is not limited by the initial gap distance between the mirror plate and the substrate and therefore is able to achieve a much larger vertical stroke to modulate lights over a wider spectrum than that achieved by conventional translation micromirrors. The novel translation micromirror has no stiction problem and is highly compatible with mature surface micromachining technology. An analytical model is derived for the novel translation micromirror and prototypes are fabricated. The prototype of the novel translation micromirror, which is deliberately not optimized so it could be fabricated using MUMPS, achieved a vertical stroke of 1.75μm using a driving voltage of 50 volts, which is three times the stroke of conventional MUMPS translation micromirrors. It is expected that if standard surface micromachining is used instead of MUMPs, the design of the novel translation micromirror can be optimized and a much larger vertical stroke can be achieved.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».