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Enregistrement W2028611295 · doi:10.1049/ip-map:20040898

High-Q silicon micromachined cavity resonators at 30 GHz using the split-block technique

2004· article· en· W2028611295 sur OpenAlexaff
Micah Stickel, P.C. Kremer, George V. Eleftheriades

Notice bibliographique

RevueIEE Proceedings - Microwaves Antennas and Propagation · 2004
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueAdvanced MEMS and NEMS Technologies
Établissements canadiensUniversity of Toronto
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésHFSSResonatorSurface micromachiningFabricationMaterials scienceBlock (permutation group theory)WaferWaveguideSiliconCoaxialQ factorOptoelectronicsSilicon on insulatorMicroelectromechanical systemsDeep reactive-ion etchingElectronic engineeringAcousticsElectrical engineeringEngineeringEtching (microfabrication)PhysicsComposite material

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Bulk micromachining of silicon wafers is a promising technique for use in deep three-dimensional waveguide fabrication. Past efforts to realise a high-quality cavity resonator with such a procedure have resulted in lower than expected unloaded quality factors (Q0). A new design for micromachined cavities is presented, that is based upon the split-block technique used in traditional waveguides. Specifically, this design solves poor contact issues involved with the final stages of fabrication encountered in previous topologies of micromachined cavities. Measurement results of four resonant modes between 30 GHz and 52 GHz for a coaxial-fed micromachined cavity are presented. These are compared with simulated values from Ansoft's high frequency structure simulator (HFSS). A measured unloaded Q0 of 4550 for the dominant TE101 mode at 29.326 GHz compares very well with the simulated value of 4490.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,010
Score d'incertitude au seuil0,870

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,009
Tête enseignante GPT0,217
Écart entre enseignants0,208 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations9
Publié2004
Routes d'admission1
Résumé présentoui

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