Optimization of the ohmic contact processing in InAlN//GaN high electron mobility transistors for lower temperature of annealing
Notice bibliographique
Résumé
Abstract In this article, we optimized the ohmic contact processing in InAlN/GaN high electron mobility transistors for the lower temperature of annealing by recessing of metalliza‐tion to approach the 2DEG at the InAlN/GaN interface. The ohmic contacts which were recessed down to 5 nm depth and annealed at 700 °C 2 min. exhibited the contact resistance of 0,39 Ωmm while the channel sheet resistance was 210 Ω/square. These values are comparative to values of contacts processed at more conventional an‐nealing conditions (800 °C, 2 min). Moreover we applied the recessed ohmic contact technology to fabricate Schottky barrier (SB) HEMTs and MOSHEMTs with Al2O3 dielectric film. For MOSHEMTs, we measured the maximal reduction of the gate leakage current by about 6 orders of magnitude if compared with SB HEMTs. The maximal drain current of MOSHEMTs was about 750 mA/mm at VGS = 0 V and the maximal extrinsic transconductance (gme) reached 101 mS/mm. (© 2010 WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim)
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».