Structural properties of InAs nanocrystals formed by sequential implantation of In and As ions in the Si (100) matrix
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Notice bibliographique
Résumé
The structural properties of InAs nanocrystals formed in Si by sequential implantation of In and As ions are studied in detail. We use a combination of x-ray diffraction, Rutherford backscattering spectroscopy, channeling, and transmission electron microscopy analyses to demonstrate that, regardless of the order in which ion species are implanted, InAs nanocrystals can be produced in Si (100) by means of sequential ion implantation complemented by subsequent thermal annealing. Whichever the order of implantation is, the nanocrystals are facetted and terminated by (111) planes, the epitaxial relationship being cube-on-cube, (100)InAs‖(100)Si with [001]InAs‖[001]Si, for most InAs nanocrystals. The size distribution of nanocrystals is much affected by the sequence of implantation. With As ions implanted first, nanocrystals of different sizes are concentrated within one and the same layer under the sample’s surface. In contrast, when In ions are implanted first, nanocrystals of different sizes are produced separately in space, forming a three-layer structure. As a consequence, inverting the order of implantation entails considerable changes in the morphology of the InAs nanocrystals obtained, affecting both their concentration profile and their size distribution. The result has a significant impact on the optical properties of the resulting samples.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle