Electronic structure of the Si-C-N amorphous films
Notice bibliographique
Résumé
The results of the investigation of amorphous a-SiC x N y films of various compositions by the ultra-soft X-ray emission spectroscopy are presented. The Si L 2, 3, C K α, and N K α emission spectra, which reflect the partial densities of states Si 3s3d, C 2p, and N 2p, respectively, have been measured and analyzed. It has been established that the Si-N chemical bond is similar in type to the Si-C chemical bond and completely substitutes for the Si-C bonds in thin a-SiC x N y films as the oxygen concentration increases. A similar effect is associated with the local agglomeration and subsequent clusterization of carbon atoms in the SiN-enriched regions of the internal volume of the film. A high ability of the a-SiC x N y films to oxidation in air has been established. This has been confirmed by a satisfactory approximation of the Si L 2, 3 X-ray emission spectra of a-SiCN with the use of the superposition of the spectra of γ-Si3N4 and Si2N2O. The relative weight coefficients of the spectra of γ-Si3N4, which have been used to approximate the spectra of thin a-SiC x N y films, are proportional to the values of the Young’s modulus for different values of compositions (different values of x and y).
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».