Amplification of the index of refraction of aqueous immersion fluids with crown ethers: a progress report
Notice bibliographique
Résumé
There is a current need for high refractive index (RI) materials that can be used in aqueous systems for improving 193 nm immersion photolighography. Although heavy metal salts such as Ca<sup>2+</sup> and Ba<sup>2+</sup> have the potential to substantially increase the RI of aqueous solutions, the water solubility of these salts with common anions is often too low to achieve concentrations that significantly increase the RI to the desired values. We have therefore investigated the use of crown ethers to enhance the solubility of these cations. Most of the crown ethers are soluble in water, environmentally benign and commercial and inexpensive materials. Details of the preliminary studies on the proposed model system are presented in this paper. 15-crown-5-ether and 12-crown-4-ether are liquids at room temperature and therefore can be used as neat liquids as immersion fluids without dilution in water. Saturation of crown ethers with inorganic salts do not lead to any increase of the refractive index due to the low solubility of those in such an apolar media. Thus, the use of inorganic salt as refractive index enhancement agent does not seem to be a desirable proposition in the present case. Instead, the use of crown ethers or their derivates can be alternative system since these compounds have properties, such as density, viscosity and boiling point, similar to aqueous media.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».