Birefringence compensation in silicon-on-insulator planar waveguide demultiplexers using a buried oxide layer
Notice bibliographique
Résumé
The high index contrast of silicon-on-insulator (SOI) enables the scaling down of planar waveguide components into the microphotonic regime, but has the unwanted consequence of inducing a large TE-TM polarization birefringence. For ridge waveguides this birefringence can be reduced to an acceptable level by using appropriate ridge dimensions [1], but with decreasing Si thickness the required fabrication tolerances quickly become too narrow to implement this solution. Components with slab waveguide regions such as echelle grating demultiplexers cannot be made polarization independent using this method. An alternate approach is to introduce a polarization compensation region in the combiner section of an AWG or echelle grating to eliminate the polarization dependent wavelength shift[2]. In its original implementation, the compensator is fabricated by changing the local waveguide thickness. The resulting birefringence correction can be sensitive to errors in etch depth, and the mode mismatch between compensator and slab waveguide sections is a source of approximately 1 dB extra insertion loss (IL) for SOI demultiplexers with Si waveguide thickness in the range from 2 to 5 m. We describe a new compensator structure for the SOI platform using a buried low index layer, in this case SiO2 sandwiched between the Si waveguide layer and another Si cap layer. Such a silicon-oxide-silicon (SOS) compensator on SOI can eliminate the TE-TM wavelength shift of an SOI AWG or echelle grating demultiplexer without introducing a significant mode mismatch between the compensator and slab waveguide sections. A demultiplexer with an SOS compensator has almost 1 dB lower insertion loss of an equivalent device with an etched compensator. The SOS compensator is easily implemented using standard oxide and a-Si or polysilicon deposition techniques. In this paper we present calculations and experimental results on the effective birefringence compensation, PDL and IL of SOS compensators in SOI waveguide demultiplexers.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».