Photolithographic Deposition of Ruthenium Thin Films by Photochemical Metalorganic Deposition
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
The photochemistry of Ru(tmhd)2(cod) (where tmhd = 2,2,6,6-tetramethyl-3,5- heptanedionate and cod = 1,5-cyclooctadiene) precursor films on Si(111) substrate was used to develop a process for the lithographic deposition of ruthenium oxide films. The photochemical reaction of Ru(tmhd)2(cod) films was monitored by FTIR. Upon exposure the coordinated ligands were lost from the film in a sequential process through an intermediate tentatively, assigned as Ru(tmhd)2 by mass spectral analysis of the material which out gassed from the film and FTIR spectroscopy. The photogenerated films were found to be amorphous ruthenium, by x-ray and electron diffraction experiments, high resolution transmission electron microscopy and Auger electron spectroscopy although, we could not rule out the possibility of some oxygen impurity. Upon annealing in air, thin films of crystalline RuO2 films with the rutile structure were produced. The use of Ru(THMD),sub>2(cod) precursor film to deposit features with 3 μm feature size by contact mask lithography is demonstrated.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle