Photolithographic Deposition of Ruthenium Thin Films by Photochemical Metalorganic Deposition
Notice bibliographique
Résumé
The photochemistry of Ru(tmhd)2(cod) (where tmhd = 2,2,6,6-tetramethyl-3,5- heptanedionate and cod = 1,5-cyclooctadiene) precursor films on Si(111) substrate was used to develop a process for the lithographic deposition of ruthenium oxide films. The photochemical reaction of Ru(tmhd)2(cod) films was monitored by FTIR. Upon exposure the coordinated ligands were lost from the film in a sequential process through an intermediate tentatively, assigned as Ru(tmhd)2 by mass spectral analysis of the material which out gassed from the film and FTIR spectroscopy. The photogenerated films were found to be amorphous ruthenium, by x-ray and electron diffraction experiments, high resolution transmission electron microscopy and Auger electron spectroscopy although, we could not rule out the possibility of some oxygen impurity. Upon annealing in air, thin films of crystalline RuO2 films with the rutile structure were produced. The use of Ru(THMD),sub>2(cod) precursor film to deposit features with 3 μm feature size by contact mask lithography is demonstrated.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».