Graded silicon based PECVD thin film for photovoltaic applications
Notice bibliographique
Résumé
Silicon based thin film alloys are deposited using plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) with silane, ammonia, and nitrous oxide as precursors with different partial pressure ratios. Numerous deposition conditions have been considered to produce films with a wide range of refractive indices. The optical properties of the films are mostly affected by hydrogen content and stoichiometry, which are characterized by means of Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR) and X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) respectively. The results of spectroscopic ellipsometry measurement of the refractive index are correlated with stoichiometry extracted using XPS to enable the prediction of optical properties from process conditions. Based on the film characterization results, a graded index film is deposited to minimize the reflection loss. The optical properties of the film to be used as anti-reflection coating (ARC), i.e. the transmittance and reflectance, are measured using an optical spectrophotometer. In spite of the optical absorption in the high refractive index part of the film, it is shown that by employing a very thin layer of amorphous silicon, it is possible to reduce reflection below conventional graded index films consisting of silicon oxynitride, and still maintain the transmittance required for solar cell applications.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».